lsh抛光垫广泛应用于硅(si)、锗(ge)、砷化镓(gaas)、蓝宝石、陶瓷、水晶等粗抛以及精密抛光。日本的信越半导体(硅片)、京瓷(蓝宝石)、并木(蓝宝石)、俄罗斯monocrystal(蓝宝石)、等多家公司都在使用该抛光布。
一、蓝宝石粗抛布(n0261)
物性说明:
品名 (lvshan): n07126 h
用途 (for uses) : cmp *粗研磨用
物理性质各项参数 ( physical properties )
项目
重量
厚度
密度
压缩率
弹性率
硬度
绒长
开口径
单位
g/m2
mm
g/m3
%
%
asker c
μm
μm
测定值
645
1.4
0.54
0.97
63
96
--
--
test
method
jis-
k6328
jis-
k6328
jis-
k6328
jis-
l1096
jis-
l1096
jis-
k6301
own
method
(物理性质数据只是测定数值,不作为规格数值。)
(the above is not standard, but measured figures.)
产品特点:
v 能提高研磨效率,研磨面的表面状态如均匀的毛玻璃状态;
v 采用高硬度的不织布,使用寿命长;
v 可以用来金属的研磨,并可以使用研磨砂,有相应实绩;
v 可以根据用户要求开槽。
同比市面上较多的罗门哈斯suba系列抛光布具有以下优点:
v 抛光寿命更长
v 价格更加低廉
v 性能与suba系列持平
西安绿山半导体科技有限公司
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